带刻度盘调速阀 气控阀 可进行流量的刻度管理,有助于实现气缸速度的定量化。采用具有线性流量特性的旋转针阀。针阀的固定采用推动锁定方式。可从正反两面目测刻度盘显示,任何人都能轻松地进行调整。
气控阀回吸阀一体型 半导体制造前工序 以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。 可根据流体粘度优化定制设计。 气控阀一体型产品,可削减配管工时并实现紧凑化。
化学液体用气控阀 半导体制造前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。
化学液体用气控阀PVC型 半导体制造前工序 可用于使用PVC阀体的FPD和太阳能电池生产线等的纯水控制的中等范围阀。全系列均采用低水锤结构,可减轻大口径配管在阀闭时受到的冲击。
大口径化学液体用气控阀 半导体制造前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。
大口径化学液体用气控阀 半导体制造前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。
化学液体用气控阀 无金属型 半导体前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。
高压用化学液体用气控阀 半导体制造前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。
化学液体用气控阀 半导体制造前工序 适用于各种压力、温度、流体条件的产品。 可将过去细分用途的机型统一。