化学液体用手动阀 具备了小型，省空间的直管型和堵头型。 直管型内置Φ4, Φ6快插接头，备有大气开放型与带排气口接头型。 堵头型直接连接到执行器上，有效防止绝热膨胀引起的结露。

日本CKD 回吸阀 以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。 可根据流体粘度优化定制设计。