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Products日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。 可以选择排气方向。 增加了设备设计的自由度,并且可以使设备更紧凑。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 由于没有润滑油,因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽,也可以具有稳定性。 可以选择排气方向。 增加了设备设计的自由度,并且可以使设备更紧凑。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽式电机,不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。 可选多电压电机(200V级,多电压) 与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。 表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型) 主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。 可选多电压电机(200V级,多电压) 与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。 表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型) 主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。 可选多电压电机(200V级,多电压) 与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。 表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型) 主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
日本爱发科ULVAC 通用型罗茨真空泵 通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。 可选多电压电机(200V级,多电压) 与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。 表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型) 主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。 大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间