产品分类
ProductsULVAC 涡旋式干式真空泵 •双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。 •可在大气压下实现操作运行。 •可实现高极限真空。 •低振动低噪音。 •维护周期可通过计时表控制。
ULVAC 涡旋式干式真空泵 •双绕式涡旋泵、含1根轨道螺旋和2根固定螺旋。 •可在大气压下实现操作运行。 •可实现高极限真空。 •低振动低噪音。 •维护周期可通过计时表控制。
ULVAC 涡旋式干式真空泵 通过固定涡旋壁(固定涡轮)与对面涡旋壁(从动涡轮)的偏心运动,进行排气的真空泵。
ULVAC 多级罗茨型干式真空泵 大排气量、小型尺寸。 不会发生真空油的返流和油雾。 无摩擦部分、长寿命。
ULVAC 多级罗茨型干式真空泵 大排气量、小型尺寸。 不会发生真空油的返流和油雾。 无摩擦部分、长寿命。
ULVAC 多级罗茨型干式真空泵 大排气量、小型尺寸。 不会发生真空油的返流和油雾。 无摩擦部分、长寿命。
ULVAC 多级罗茨型干式真空泵 大排气量、小型尺寸。 不会发生真空油的返流和油雾。 无摩擦部分、长寿命。
ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵 用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵 溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵 用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵 溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
ULVAC 空冷式多级罗茨型干式真空泵 通过高温领域的泵体均热化,实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。